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從污染控制到營運韌性:潔淨室防⽕填塞的標準化應對策略
2025-06-06
在⾼⾵險、⾼潔淨度的半導體製造環境中,防⽕填塞系統早已不再只是⽤於阻擋⽕焰擴散的結構配件,更是維繫潔淨室污染防控、壓⼒穩定與災後快速恢復能⼒的關鍵防線。⽕災⼀旦導致煙霧回滲、化學物質洩漏或空調系統失效,將對產品良率與產能造成毀滅性打擊。因此,防⽕填塞的設計與驗證應跳脫傳統觀念,朝向標準化、系統化與可追溯的⽅向發展。
防⽕填塞的規範與要求
FM 標準規範 :根據 FM DS 7-7《半導體製造設施》規範,所有穿越防⽕牆、樓板與天花板的開孔,皆需使⽤ FM 認證的防⽕填塞材料,並由取得 FM4991 認證的合格承包商施⼯。其耐⽕等級應等同或⾼於原有結構,且針對設備區的貫穿點,須具備氣密性能,每平⽅⽶最⼤空氣洩漏量不得超過 2.1 m³/min,以防⽌⽕災初期煙霧、熱氣與微粒迅速擴散⾄關鍵製程區。FM 標準更要求系統應每年⾄少進⾏⼀次檢查,以確保持續有效的阻隔功能。
潔淨室專屬要求 :FM DS 1-56《潔淨室》亦強調,所有穿越不燃樓板與防⽕牆的管線或公⽤設施,皆應以認可材料進⾏密封封堵,並建⽴每半年⼀次的檢視機制,覆蓋牆⾯、地坪與防⽕⾨等關鍵部位,以確保區域分隔的完整性與防護功能。同時,潔淨室內所採⽤之建材應符合 ASTM E84 測試要求,其發煙量(SDI)不得⼤於 0.4 (m/s^1/2)(g/g)(kW/m)^(2/3),以降低⽕災時煙霧對潔淨環境的危害。
材料選擇與污染控制
防⽕填塞材料亦需通過潔淨室逸氣測試與污染分析,確保不會釋放揮發性污染物(AMC, Airborne Molecular Contaminants),避免對製程設備與產品品質造成影響。依據 ISO 14644-8 與 SEMI F21 等標準,材料須經 ASTM E595 測試與 GC/MS 氣相層析質譜分析,確認 Total Mass Loss(TML)與 Collected Volatile Condensable Materials(CVCM)皆於可接受範圍內,且不得含有矽氧烷、含氯氣體、有機溶劑等⾼⾵險成分,⽅可納⼊⾼階製造場域使⽤,實現防⽕與防污染雙重⽬標。
氣密與⽔密性能的重要性
防⽕填塞系統亦應具備優異的氣密與⽔密性能。UL 所定義的 L 等級可評估材料在標準壓差(75 Pa)下的空氣滲漏量,是維持潔淨室壓差穩定與抑制分⼦污染的重要依據;⽽ W 等級則證明材料能承受 72 ⼩時靜⽔壓⽽不滲漏,對於可能接觸冷凝⽔、清洗液或潮濕環境的潔淨區域⾄關重要。因此,UL 的 L/W 等級已成為潔淨室選⽤防⽕填塞系統的重要參考指標。
聯索建築科技的標準化應對策略
針對上述要求,聯索建築科技提出完整的防⽕填塞標準化應對策略,從設計階段的圖⾯審查、材料選型,到現場安裝查驗與最終檢測報告發佈,全⾯整合 FM、UL 與 CNS 標準,並配合 IAS A 型檢查制度,提供具國際效⼒的查驗服務與合規聲明。透過這套系統化流程,企業得以有效落實從「污染控制」到「營運韌性」的潔淨室防⽕策略,達成不中斷、不污染、不損失的核⼼⽬標。
從污染控制到營運韌性:無塵室防⽕填塞的標準化應對策略 | 光電半導體 | 商情 | 經濟日報 :
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